上海喆圖科學儀器
Zhetu Scientific Instrument
服務熱線：17321051213
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產品型號：
更新時間：2025-11-18
廠商性質：生產廠家
訪 問 量 ：1965
400-001-0304
產品分類
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HMDS預處理真空干燥箱
HMDS預處理真空干燥箱，又稱TDM系列真空鍍膜干燥箱，是一種專用于半導體、光電、微電子等領域中光刻前處理工藝的專用設備。其主要功能是在真空環境下將六甲基二硅氮烷（HMDS, Hexamethyldisilazane）以蒸汽形式沉積于基材表面，從而改善基材表面親水性，提高光刻膠與基底的附著力，確保后續微圖形工藝的質量與穩定性，喆圖預處理真空干燥箱適用于 1-12 英寸半導體晶圓（硅基、碳化硅、氮化鎵等）、MEMS 傳感器基板、LED芯片襯底、光學鏡片等高精度元件的預處理，覆蓋集成電路制造、*封裝、光電器件生產、高校科研等場景。
TDM系列真空鍍膜干燥箱產品特點
? 采用高效真空系統，確保HMDS處理在穩定、無氧、低濕環境中進行，避免水汽干擾;
? 支持硅片、玻璃片、藍寶石、ITO基板等材料的預處理，可根據客戶需求定制托盤、樣品架；
? 腔體采用耐HMDS腐蝕的不銹鋼材質，防止氣體殘留腐蝕設備，冷凝系統處理完畢后可自動排放或冷凝未反應的HMDS蒸氣，保護環境和人員安全;
? 觸摸屏控制系統，可根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間；
? PLC控制系統具有自動控溫、任意定時、超溫報警等,彩色觸摸屏顯示，控溫準確可靠；
? 具有溫控模塊，腔體加熱與基材加熱溫度均勻，確保HMDS蒸氣均勻分布并穩定沉積；
? 采用鋼化玻璃觀察窗，監測方便，一體成型的硅橡膠門封，確保箱內密封性好；
? 腔體呈立方體或長方體，棱角分明，直角設計增強抗壓性能，內部空間利用率高；
? 低真空鍍膜工藝的密閉腔體結構，真空環境可控，確保鍍膜過程無污染、無泄漏;
? 承載均勻涂布與多工藝集成，支持蒸發、濺射、MBE、PLD等多工藝模塊的智能融合；
? 采用鋼化玻璃觀察窗，監測方便，內膽不銹鋼，無易燃易爆裝置，無發塵材料，一體成型的硅橡膠門封，確保箱內密封性好;
? 提供單腔、雙腔、四腔等多規格腔體設計（四腔機型支持獨立控溫與工藝，產能提升4 倍）可根據客戶產能需求定制腔體尺寸與處理容量；
應用場景 | 半導體制造 | 1.工藝可控域：精密調控溫度場、壓力梯度等； 2.技術覆蓋域：兼容多種鍍膜技術，適配多樣化生產。 |
光學器件鍍膜 | 1.光學鏡頭抗反射膜(AR)、紅外濾光片多層膜； 2.激光器腔鏡高反射膜(HR)、分光膜。 | |
新能源與新材料 | 1.鈣鈦礦太陽能電池電極層(ITO/Ag)沉積； 2.柔性顯示面板(OLED)透明導電膜(AZO)鍍制。 | |
工藝適配 | 工藝類型 | 物理氣相沉積(PVD):磁控濺射、電弧離子鍍、電子束蒸發； 化學氣相沉積(CVD):等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)。 |
鍍膜材料 | 金屬(Al、Cu、Ag)、氧化物(Al2O3 、TiO2)、氮化物(TiN、SiN)等。 | |
典型應用 |
半導體代工 | 應用場景：3nm邏輯芯片金屬互聯層沉積； 客戶價值：提升芯片良率15%,降低電遷移失效風險。 |
光學鏡頭制造 | 應用場景：8K超高清鏡頭抗反射膜鍍制； 客戶價值：反射率<0.1%,透光率>99.5%(400-700nm波段)。 | |
鈣鈦礦光伏 | 應用場景：大面積鈣鈦礦電池電極層連續鍍膜； 客戶價值：電池轉換效率突破26%,成本降低30%。 | |
航空航天 | 應用場景：衛星光學載荷耐輻射保護膜沉積； 客戶價值：通過ISO-15860空間環境模擬認證。 |
技術參數
型號 | TDM-64V | TDM-90V | TDM-125V | TDM-215V |
電源電壓 | AC 220V 50Hz | |||
控制系統 | PLC智能控制 | |||
儀表控制 | 彩色觸摸屏 | |||
控溫范圍 | RT+10-200℃ | |||
溫度分辨率 | 0.1℃ | |||
溫度波動度 | ±0.1 | |||
真空度 | ≤133pa | |||
內膽尺寸 | 400*400*400 |
| 500*500*500 | 550*550*650 |
容積 | 64L | 90L | 125L | 210L |
載物托架 | 2層 | 2層 | 3層 | 3層 |
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